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蚀刻机和光刻机的区别

这俩设备非常简单的表述便是光刻机把原理图投射到遮盖有光刻胶的硅片上边，刻蚀机再把刚刚画了原理图的硅片上的不必要原理图浸蚀掉，那样看上去好像没有什么难的，可是有一个品牌形象的形容，每一块集成ic上边的电源电路构造变大成千上万倍看来比全部北京市都繁杂，这就是这光刻和蚀刻加工的难度系数。 光刻的全过程就是目前制做好的硅圆表面涂上一层光刻胶(一种能够被光浸蚀的胶状***学物质)，下面根据光源(加工工艺难度系数紫外线＜深紫外线＜极紫外线)通过掩膜照射硅圆表面(相近投射)，由于光刻胶的遮盖，照射的一部分被浸蚀掉，沒有阳光照射的一部分被留下，这一部分就是必须 的电源电路构造。 蚀刻加工分成二种，一种是干刻，一种是湿刻(现阶段流行)，说白了，湿刻便是全过程中存水添加，将上边历经光刻的圆晶与特殊的化学溶液反映，除掉不用的一部分，剩余的就是电源电路构造了，干刻现阶段都还没完成商业服务批量生产，其基本原理是根据等离子技术替代化学溶液，除去不用的硅圆一部分。

蚀刻机有很多种类，如双面、自动、不锈钢等，都有不一样的作用和特点。下面我们就来说说自动型蚀刻机它的特点，供大家参考。

据我们恒煜机械了解，现在市场上见到的自动型化学蚀刻机有这些特点：

1、大部分都是通过高压喷淋及被蚀刻板直线运动形成连续不间断进料状态进行对工件腐蚀以提高生产效率。

2、相对加大了喷淋与被蚀刻金属板的有效面积和蚀刻均匀程度，无论在蚀刻效果、速度和改善操作者的环境及方便程度，都优于泼溅式蚀刻

3、 经反复实验喷射压力在1-2 Kg/cm2的情况下被蚀刻工件上所残留的蚀刻圬渍能被有效清处掉，使蚀刻速度在传统蚀刻法上大大提高，由于该蚀刻机液体可循环再生使用，此项可大大降低蚀刻成本，也可达到环保加工要求。

4、蚀刻材料常见的是钛板，钢、不锈钢、黄铜、铝、硅、铜等金属平板

5、一些细节如下

外形尺寸通常：2000×dao1120 ×1000 mm

加工面：≤宽shu600mm(长度不限)

工作形式：连权续进料、双面喷淋式

过滤形式：供液过滤+下料过滤

加热系统：钛合金防腐加热

工作温度：38-50度（自动加热）

蚀刻速度：无级调速

功 率：3.5kw/380V

控制系统：蚀刻开关、单双面蚀刻控制开关、自动温控、水平轮片传送（无级调速）

（1）FeCl3浓度值对蚀刻速率的危害：FeCl3蚀刻液中随FeCl3浓度值的提高，蚀刻速率加速。当所含FeCl3超出某一浓度值时，因为蚀刻机水溶液粘度提升，浸蚀速率反倒有一定的降低。五金蚀刻设备厂家针对选用抗蚀印料或抗蚀湿膜的铜零件，浓度值可调节在35°波美度上下；选用液态光致蚀剂（如骨胶，乳液等）的铜零件。浓度值操纵在42°波美度上下。一般状况下，蚀刻机箱内药液浓度值在350g/L-600g/L为宜。

（2）***的加上量对蚀刻机的浸蚀速率危害：在腐蚀机中添加***，一则可以抑止FeCl3和CuCl2的水解反应；二则可提升蚀刻速率。尤其是当蚀刻液中铜成分大路37.4g/L后，盐酸的作用更为显著。但这应依据不一样的抗蚀层原材料挑选适宜的酸度，假如抗蚀层挑选骨胶，果胶，乳液等光致抗蚀层，则不能用太高的酸度，不然，抗蚀层便于被毁坏。针对光感应环氧树脂抗蚀剂及油墨印刷抗蚀层，则可以挑选较高的酸度。

（3）温度对蚀刻速率的危害：在FeCl3蚀刻加工工艺中，随温度的上升，蚀刻机中产品工件的浸蚀速率显著加速。例如在50℃时，全新升级蚀刻液对铜的蚀刻速率可做到10μm/min。但在现实制造中，全是选用常温下蚀刻方式。FeCl3对铜的蚀刻是一个化学反应，伴随着蚀刻的开展，蚀刻机***水温度会慢慢上升，蚀刻速率加速。伴随着FeCl3的耗费，蚀刻速率也会降低。与此同时这一提温全过程也较为迟缓，因此在全部蚀刻全过程中蚀刻速率转变并不大。

蚀刻机生产过程中基本程之一，简易的讲便是底材合金被抗蚀层遮盖，沒有被抗蚀层防护的合金与蚀刻加工剂产生反映，进而被咬蚀掉，产生图形设计的全过程。自然，蚀刻加工基本原理用两三句就可以毫不费力地叙述，但事实上蚀刻加工技术性的完成或是颇具备趣味性，特别是在生产制造细微规格时，不大的宽尺寸公差规定，不允许蚀刻加工全过程存有一切错漏，因而蚀刻加工結果要恰如其分，不可以变大，也不可以过蚀。进一步表述蚀刻加工的全过程，蚀刻加工生产商更乐意应用程度的蚀刻加工线开展生产制造，以完成多方面上的制造自动化技术，使产品成本减少，可是水准蚀刻加工也不是十全十美，没法解决的“蓄水池效用”使板的上表层和下表层形成差异的蚀刻加工实际效果，板外的蚀刻加工速度比板中心的蚀刻加工速度快，有时，这类状况会使表面上的蚀刻加工結果造成非常大的差别。换句话说，“蓄水池效用”会使板旁边过蚀比板中心的路线过蚀大，乃至用心做好的调整 ，来赔偿不一样的蚀刻加工速度也会产生不成功，由于要得到极细的设备务必十分细致的操纵蚀刻加工尺寸公差。