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发布时间:2022-05-09 09:51:54
蚀刻机可以分为化学蚀刻机及电解蚀刻机两类。在化学蚀刻中是使用化学溶液,经由化学反应以达到蚀刻的目的,化学蚀刻机是将材料用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。
1、蚀刻机喷头的介绍 蚀刻机喷头是蚀刻机喷淋装置中的一个部件,药液喷淋的形状是根据蚀刻机喷头的种类来决定的,不同的蚀刻机喷头所起到的作用是不一样的。蚀刻机喷头的作用及维护 2、蚀刻机喷头的作用 主要作用是把蚀刻液均匀的喷淋到工件上,蚀刻机喷头根据蚀刻机每道工序所对应的要求所选择不同的种类。比如:常规情况下蚀刻段选择用扇形,因为蚀刻段对压力的要求比较高,而我们扇形喷嘴喷淋出的液体压力会相对较高;显影段和退膜段我们就采用锥形喷嘴,因为这两处需要覆盖面广,而锥形喷嘴刚好就有这种特性。 3、蚀刻机喷头的维护 蚀刻液是通过蚀刻机喷头顶端的小孔把给喷淋出来,这个小孔的直径是很小的,所以是很容易堵塞的,而我们的蚀刻液沉淀物和腐蚀下来的残渣都是颗粒状的,使用的时间过长了这些固体颗粒物的形成就会堵塞喷头,所以我们需要定期的清理蚀刻机的喷头才能达到良好的腐蚀效果。
药性减低的原因及还原方式
随着化学反应的进行,蚀刻液药性降低,是因为三氯化铁氧化成了氯化亚铁,此时需要将氯化亚铁还原成三氯化铁增加药液酸性。需加入水溶液(还原剂)﹑盐酸()
2.还原反应:2FeCl2+N***O+2HCL﹦2FeCl3+N***+H2O
氯化亚铁++盐酸=三氯化铁+氯化钠+水(由于亚铁离子在水中极易水解而产生氢氧化亚铁:FeCl2+H2O=,Fe(OH)2+HCL所以为了防止氯化亚铁水解变质,常在氯化亚铁溶液中添加一些盐酸.)
3.由于盐酸容易挥发,随着化学反应的进行,还会发生以下反应:
6FeCl2+N***o+3H2O=4FeCl3+2Fe(OH)3 ↓+N***
氯化亚铁++水=三氯化铁+氢氧化铁(沉淀物)+氯化钠
(其中氢氧化铁为沉淀物,所以随着化学反应时间的加长,药箱内会出现粘稠状物质。除去该粘稠状沉淀物,需采用物理过滤方式,如:过滤网过滤或净水装置)
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