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等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀，是干法刻蚀中常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。某种程度来讲，等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反应室。气体被导入并与等离子体进行交换。等离子体在工件表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走。等离子体刻蚀工艺实际上便是一种反应性等离子工艺。近期的发展是在反应室的内部安装成搁架形式，这种设计的是富有弹性的，用户可以移去架子来配置合适的等离子体的蚀刻方法：反应性等离子体（RIE），顺流等离子体（downstream），直接等离子体（direction pla***a）。




只要亲自操作过，就会知道蚀刻机在使用的过程中，要注意的问题非常多，虽然现在已经推出了自动化的型号，但是仍然有不能忽视的关键问题，比如很多朋友就想要知道该设备是否可以接触具有腐蚀性的化学物质，接触之后还能不能正常运行，马上进行了解。    1、要选对型号    蚀刻机的型号通常有化学以及电解两种，其中化学型号就能够接触溶液，并且它还是通过化学溶液来起到蚀刻效果的，产生化学反应之后，很快就能完成工作，但是需要定期清洗设备，才能减少污垢残留或是堵塞的问题出现，朋友们需要稍加注意。    2、电解型号污染更少    虽然化学蚀刻机可以完成工作，但是化学溶液对环境的危害还是比较大的，如今很多行业已经不再使用这种型号的设备了，反而会选择电解型号，虽然它存在蚀刻面不够均匀等问题，但是却具备了无污染的优点，更符合现如今的环保理念。    弄清楚是怎么一回事之后，就会知道合适的蚀刻机型号完全可以接触化学液体了，所以朋友们不必担心腐蚀之类的情况，如果人手并不是很多，或是工作比较忙碌，还可以选择自动化的型号，免去了不必要的麻烦，也能够加快蚀刻的效率。

所谓目标性，就是通过某一工艺流程的全过程有一个明确的输出，或者说要达到某一特定的目的。对于金属蚀刻而言，这个目的就是满足其设计图纸对产品的要求。更具体地说，这些

要求包括产品的蚀刻尺寸要求、经蚀刻后的表面粗糙度要求等。

比如，对于装饰用途的图文蚀刻产品，经过所设计的工艺流程加工制作完成后所要达到的目标:①要求经蚀刻后的图文清晰度要高;②要求经蚀刻后金属表面粗糙度要符合设计要求;③要求图文的蚀刻深度要满足设计要求;④工件在蚀刻过程所发生的形变要在设计规定的范围之内;等等。

再如，对于结构用途的产品，经过所设计的工艺流程加工制作完成后所要达到的目标:①经蚀刻后的工件其蚀刻深度是否在设计规定的公差范围之内;②经蚀刻后的工件其横向蚀刻尺寸变化后的实际尺寸是否在设计规定的公差范围之内，③经蚀刻后的工件表面粗糙度是否满足设计要求等等。